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首台国产冷场电镜交付
2024年10月12日,合肥国镜仪器科技有限公司(以下称国镜仪器)发布了其自主开发的世界首台台式冷场扫描电镜(MicroST DCF-100),标志着国镜仪器在高端科学仪器领域取得了首个产业化重大突破。近期,国镜仪器在东南大学无锡国际校区集成电路学院完成了首台冷场电镜产品的正式交付,标志着国镜冷场电镜产业化推广正式全面展开。

此次国镜仪器交付的世界首台台式冷场扫描电镜,采用了第四代冷场发射技术,其工作真空度为1E-7Pa,引出电压仅需100V,远低于传统冷场电镜1E-9Pa的真空度和高引出电压(数千伏)工况要求。相比传统发射技术,国镜冷场电镜拥有高亮度、小虚源尺寸、低能量展宽等特性,在低压高分辨、抗荷电效应、低样品损伤等多方面具有更佳的性能表现。

东南大学用户表示:国镜冷场电镜的交付对我们的科学研究工作意义重大,在高亮度、低能量展宽的新一代高质量电子源技术支撑下,国镜冷场电镜可以为我们提供更高质量的成像数据,促进了我们在纳米材料以及集成电路等领域的研究。
国镜仪器总经理表示:非常荣幸能与东南大学合作,共同推动高水平国产化电镜的发展,来自用户的认可是团队进行产品开发的最大动力,相信此次交付的国产化冷场电镜产品,将为东南大学的用户提供强大的科研工具。
国镜仪器成立于2023年10月,核心团队由中国科学技术大学校友组成。公司致力于国产化电子光学仪器设备的研发和制造,在公司成立一年时间,就成功发布国内首款冷场电镜产品并实现交付,展示了其在高端仪器装备领域的强大实力。
国镜仪器的冷场电镜在多个领域具有广泛的应用前景,包括新能源、新材料、光伏、半导体、生物医学、地质勘探等。其高分辨率和低损伤的特点,使其在科学研究和工业检测中具有独特的优势。


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